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压电陶瓷管扫描器与光纤章动跟踪

压电陶瓷管扫描器是可以XYZ三维运动的压电陶瓷管,用于三维微扫描与定位,如AFM原子力显微镜等。

 

结构形式-四区分割电极

 

 

工作方式及原理

 

压电陶瓷管扫描器为壁厚比较薄、径向极化、外壁四个电极、内壁一体或者分区电极的压电陶瓷管,当外部施加一个正电压到某一个区域时,陶瓷管垂直方向收缩,使陶瓷管顶部产生比较大的倾斜,同时施加电压会使陶瓷轴向或径向膨胀和收缩。

电极

可选化学镀镍、化学镀镍和金。也可接受电极定制。

 

驱动方式与位移计算

 

标准品技术参数

 

 

定制产品尺寸范围

 

 

压电陶瓷管扫描器用于光纤章动跟踪

压电陶瓷管扫描器体积小巧以及扫描速度快等特点,使其非常适于光纤章动跟踪。采用光纤章动跟踪方法,进行空间激光到单模光纤的耦合。章动运动如下图所示。

 

 

压电陶瓷管扫描器的外径可小于3mm,体积非常小巧,非常便于集成。扫描范围为几微米甚至可达上百微米,且响应速度可达亚毫秒,频率达5kHz甚至更高,可满足光纤章动跟踪的要求。

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