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压电扫描台|P15系列|新品发布

P15压电扫描台是快速高精度的轴扫描和纳米定位,具有非常高的直线度。中心通孔直径48mm,非常适于透射光应用,如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。

 

特点:

行程范围为370 x 370 x270μm

可选配应变式闭环传感器;

无摩擦高精度挠性导向系统

扫描平整度高;

48 mm

 

应用:扫描显微镜、掩模/晶圆定位、干涉、度量衡学、生物技术、微操作等。

 

P15压电扫描台XY方向的运动行程为370μmZ向的运动行程为270μm它的内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割铰链结构。 FEA使设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。

 

P15压电扫描台可选配闭环反馈传感器,可提供更高的定位精度,非常适合高精度定位应用。

 

闭环上升曲线

与常规的闭环压电扫描台相比,P15系列在外观上略有不同,它的台体上具有两个出线孔,分别为PZT供电引线及闭环信号反馈引线。并且,P15系列压电扫描台的移动面,较台体平面高出一部分,更易辨别。

 

P15压电扫描台技术参数

型号P15.XYZ300S

XY标称行程范围370(±185)µm/轴

Z标称行程范围270µm

传感器类型SGS

闭/开环分辨率8/5nm

闭环线性度0.2%F.S.

闭环重复定位精度0.15%F.S.

运动方向刚度X0.1/Y0.1/Z0.1N/µm

空载谐振频率X120/Y150/Z250 Hz

最大承载0.5Kg

XY静电容量21μF

Z静电容量7.2μF

材质

重量900g

 

应用案例

纳米光刻

首先计算机将BMP图转化为灰度图,然后再通过控制系统控制压电扫描台,带动镀膜镜片在0-300μm范围内对读取的图像信息进行优化,同时控制激光器及扫描台,二者配合完成BMP图的纳米定位加工。

 

AFM原子力显微镜

闭环纳米定位扫描台作为原子力显微镜的一部分,可带动样品进行高速精密运动,可以实现X、Y、Z轴280μm的扫描,分辨率为亚纳米级,响应时间可达亚毫秒。

 

干涉

压电扫描台的Z向的纳米级的微运动,精确调整待测物的位置,从而改变对应的干涉条纹的宽度及位置,以达到更精确的表面测量。

 

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