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压电扫描台|二维XY向直线运动

 

P18.XY300S压电扫描台为二维XY运动闭环直线扫描台采用机放大设计原理,内部以高可靠性压电陶瓷为驱动源,可以实现370μm/轴的高速扫描,通光孔径为Ø35mm,非常适用于大行程多维扫描等应用。

 

特点

位移可达 370μm

承载可达1.5kg

通孔直径:Ø35mm

闭环重复定位精度高

响应速度快

 

阶跃时间

单点定位应用,P18.XY300S 带载 100g 负载阶跃时间 60ms。

 

配套控制器

P18.XY300S二维压电扫描台需要三个输出通道的压电控制器进行驱动控制,其中两个通道为可变0~120V输出,另一通道为120V恒压输出。P18.XY300S配套E72.D3S-I1压电控制器,可满足P18.XY300S的各项参数要求。

 

应用实例-纳米光刻

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动,从而优化镜片读取的信息。

芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。

典型应用

图像处理与稳定

扫描显微

干涉/计量

表面检测

光学计量

半导体测量

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