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P78系列压电显微样品台

P78 压电扫描台是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的一维 Z 轴压电扫描台,它的外形结构易集成于显微仪器设备中。

 

<<特点

· 一维 Z 向运动

· Z 向分辨率可达4nm

· 通孔尺寸为120×70mm

· 行程范围110μm

<<应用

显微成像、生物技术、超分辨率显微镜、光学圆盘显微镜、共聚焦显微镜、3D 成像、筛选、干涉测量、测量技术、自动聚焦系统、半导体测试等。

P78 压电扫描台对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。可选配桥式配置的闭环传感器,可消除温度漂移,保证了纳米范围的定位稳定性。同时,通过FEA 优化了直线度与平面度,为运动方向及垂直运动方向上提供了较高的刚度。并联运动学设计,使其结构更紧凑、响应速度更快。

<<大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78 系列压电扫描台,采用机构放大设计原理,可以实现Z轴110μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应时间。

P78 系列压电扫描台可选择配置闭环传感器,对位移实现实时监测并反馈给闭环压电控制器,实现纳米级精密控制。扫描台台体中心通孔尺寸为120×70mmmm,适用于干涉、扫描、表面检测等应用。

<<开/闭环曲线

 

<<阶跃时间

 

<<技术参数

 

 

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