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移相步进与镜片两轴角度调节相结合的压电陶瓷移相器

压电陶瓷移相器的内部是由压电陶瓷管驱动,它由直流电压信号来控制,在150V电压下产生的位移约0.9µm,可用于快速步进移相应用。压电陶瓷移相器的驱动电压上限为800V,在此电压下,产生的位移约4.82µm。

 

该压电移相器是专为像移应用而设计,可通过电压控制进行超快速(µs级)步进调节,同时,可通过手动调节θx θy两轴的偏转角度,角度调节范围可达±4°。将镜片调节与像移步进相结合,使其更方便于像移、干涉测量等应用。

产品特点

• 150V电压驱动下,移相行程约0.9µm

• 驱动电压上限为800V

• 移相行程上限可达4.82µm

• 可手动调节θx θy两轴偏转角度

• 单轴调节角度范围为0~±4°

• 标准可带载镜片直径为35mm,可定制

产品应用

• 快速纳米级步进

• 移相

• 光路调节

• 干涉测量

• 快速步进调节等

电压与位移曲线

 

芯明天可提供各种用于移相、步进、干涉、计量等应用的压电式移相器,例如超小体积型、带有通光孔型、大负载型、大口径式等,可完全根据客户的实际应用定制设计。

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