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P77.D6小体积压电移相器

P77.D6压电式移相器是专为光学检测移相应用而设计的,中心通孔直径为65mm,正立、侧卧、倒置使用的承载能力分别可达5kg、2kg、3kg。采用压电陶瓷直驱式结构,保证了出力性能,同时内部优化的机械结构设计,对压电陶瓷也起到了完美的保护作用,确保了使用寿命。

 

产品特点

• 一维Z向运动

• 行程可达17μm

• 承载可达5kg

• 通孔直径:65mm

• 可正立/倒置/侧卧使用

 

典型应用

• 显微成像

• 表面检测

• 干涉/测量

• 精密定位

• 移相器

• 光学捕获

 

高精度、大承载

P77.D6系列压电移相器采用优异的柔性铰链导向机构设计,利用有限元分析优化,使其具有超高分辨率。同时闭环版本内置高精度传感器,对位移实时监测反馈,实现纳米级的重复定位精度及线性度。

中心通孔直径65mm,非常适于大口径移相干涉应用。

电压与位移曲线

 

技术参数

 

应用案例

芯明天P77系列压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特点广泛应用于现代干涉仪中,大大提高了干涉仪的测量精度。

 

 

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