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P17系列大行程二维压电扫描台

P17系列压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现XY轴210μm的扫描范围,通光孔为60×60mm,在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。

 

产品特点

• 位移可达210μm

• 承载可达1kg

• 通孔尺寸60×60mm

• 闭环重复定位精度高

• 响应速度快

产品应用

• 图像处理与稳定

• 扫描显微

• 干涉/测量

• 表面检测

• 晶圆定位/微操作

大行程、响应速度快

 

P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台,可以实现XY轴210×210μm的位移行程,优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、最快的响应时间可达5毫秒。

闭环版本采用高精度的传感反馈,与E00/E01系列闭环控制器配套使用,具有非常高的稳定性。台体中心60×60mm大通孔,适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。

频率负载曲线

 

阶跃时间

P17.X200S负载10g满行程的响应时间约30ms。

 

开闭环曲线

 

技术参数

 

应用实例

P17系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用,该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。

与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位,可带动晶圆做XY轴210μm行程范围的纳米级精密定位。

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