幸运飞艇

欢迎来哈尔滨芯明天科技有限公司!我们将为您提供到位的服务!销售热线:0451-86268790 17051647888
联系我们Contact us
公司名称:哈尔滨芯明天科技有限公司
联系人:杨先生
固话:0451-86268790
手机:17051647888
地址:哈尔滨市南岗区汉广街41号金华大厦创业中心6层
首页 > 技术文章 > 基于P63压电纳米定位台、SEM及白光干涉仪的纳米切削装置
基于P63压电纳米定位台、SEM及白光干涉仪的纳米切削装置

纳米切削中刀具的纳米级微进给、切削过程的高分辨率观测及加工后的测量都是纳米切削中需要解决的几个重要问题。为解决该系列问题,可通过利用压电纳米定位台、SEM扫描电子显微镜,分别完成刀具纳米级步进及高分辨率观测,加工完成后,再通过白光干涉仪对加工后的尺寸进行测量。其中,刀具的纳米车削进给是采用芯明天P63压电纳米定位台,它的行程为8µm,闭环分辨率可达0.6nm以上。

该纳米切削装置的结构及实际安装实物如下图中所示。

 

结构原理图

 

安装结构实物图

切削过程

通过粗调平台将刀具与待加工件间距离调整至2~3µm,通过SEM观测。再通过芯明天压电纳米定位系统控制刀具缓慢向待加工件表面移动,直至接触,并记录位置,再次移动刀具至加工点,预切削后,再通过压电纳米定位系统控制刀具进行纳米级车削,SEM进行整个切削过程的观测。P63压电纳米定位台具有X、Y、Z 三自由度的运动,并能够实现联动控制,该纳米切削过程可实现不同速度的切削、斜切以及正弦曲线切削等功能。

 

P63压电纳米定位台

P63压电纳米定位台技术参数:

运动自由度:XYZ

行程范围:8µm/轴

闭环分辨率:0.2nm

闭/开环阶跃时间:1.5ms/0.3ms

承载能力:400g

通过该装置进行了高真空条件下的纳米切削,实验测得在慢速切削(15~20s)下,对单晶铜设置切削50nm、150nm的切削深度,经过P63压电纳米定位系统车削加工后,再经白光干涉测量,实际切深为59.3nm、161.2nm。

切削精度受多种因素的影响,如材料性能(如硬度、脆性等)、刀具尺寸、温度等,在慢速切削下达到10nm左右的偏差,已能满足大部分纳米切削的精度要求。

全国统一客服电话:

17051647888

地址:哈尔滨市南岗区汉广街41号金华大厦创业中心6层
联系人:杨先生
手机号码:17051647888
固定电话:0451-86268790

哈尔滨芯明天科技有限公司()主营:压电促动器,压电移相器,压电快反镜,快速刀具定位器

哈尔滨芯明天科技有限公司 中福彩票网bozdagotel.com版权所有  ICP备案号:黑ICP备16009173号-2 管理登陆 技术支持:仪表网  网站地图

在线客服
在线客服
用心服务 成就你我
友情链接:中福彩票平台  中福彩票官网  中福彩票  万喜彩票网  万家彩票平台  盛通彩票  盛通彩票网  
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站

免责声明: 本站资料及图片来源互联网文章,本网不承担任何由内容信息所引起的争议和法律责任。所有作品版权归原创作者所有,与本站立场无关,如用户分享不慎侵犯了您的权益,请联系我们告知,我们将做删除处理!