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压电纳米定位台小体积、高精度
   压电纳米定位台小体积、高精度、响应速度快,定位台是超高精密纳米定位系统,是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的,具有超低惯性,响应时间可达0.3ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。压电定位台具有极佳的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易于集成。
  由于工艺的不断成熟和成本的不断下降,陶瓷电机纳米定位台的性价比已经明显优于传统压电纳米台,甚至低于高精度的微型电机定位台,在很多应用中已经取代这两种产品。并且,陶瓷电机技术还在向更大的推力、更高的速度、更快的调制频率方向发展,在未来将会出现在越来越多的高技术应用领域。
  压电纳米定位台符合无摩擦导向原理,压电位移台无需维护,不存在磨损。更重要的是,其输出运动灵敏度不会受机械摩擦的影响。闭环产品(型号以S结尾)内部集成有高分辨率应变计位置传感器,其支持高精度且可重复的运动,而且还会对促动器蠕变进行补偿,并且对温度不敏感。闭环产品即可开环也可闭环控制。
  芯明天压电纳米定位台的驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。1-3维运动,行程范围最大可达1.1mm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,可以选择配置高精度电容、电感、电阻应变计传感器实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性。压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。
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