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压电马达内部仍为压电陶瓷驱动,它分为直线运动型及角度运动型,利用粘滑原理,通过压电陶瓷的快速振动,达到微纳米级的步进,总直线运动行程范围可达几百毫米,角度行程可达360度。 应变传感器主要用于测量一个结构表面的形变,具有非常高的测量敏感度,可间接进行力的测量,力的过程监控等。《查看更多》
压电移相器压电偏转镜系列压电偏转镜/移相器为θx,θy偏转/俯仰及Z轴升降台,台体中心通孔,产品体积小巧、结构紧凑,可以实现的偏转范围为0.8mrad,Z轴直线运动行程为12μm,产品为开环版本,具有极高的分辨率及响应速度,是干涉扫描移相的。《查看更多》
维θx向压电偏转镜4mrad是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动,补偿量小,确保偏转镜具有极佳的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
二维θx,θy向压电偏转镜25mrad是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动,补偿量小,确保偏转镜具有极佳的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
压电倾斜镜采用压电陶瓷直推驱动,零摩擦的柔性铰链为导向系统使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。镜子只需要简单的固定到偏转台上,可提供2毫弧度的偏转行程。在整个偏转行程中可达到亚微弧度的分辨率。低的移动质量和优异的控制系统可以提供极佳的响应时间和和速度。《查看更多》
压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴角度偏转运动,确保偏转具有极佳的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
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