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P13系列压电纳米定位台为二维XY、三维XYZ压电平台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,zui大位移为40μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。《查看更多》
P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现110μm位移。《查看更多》
XP-611系列压电纳米定位台为一维X轴或Z轴压电平移台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,可实现X轴或Z轴100μm的位移行程,柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高,是一维精密定位与扫描的理想选择。《查看更多》
N60系列压电纳米定位台为一维X轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可以实现X轴zui大34μm的位移,优异的机构放大设计原理,X轴运动直线性好,开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。《查看更多》
XP-62系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动,具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制,高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。《查看更多》
P66.XYZII压电纳米定位台为压电陶瓷直驱机构压电平台,采用柔性铰链结构设计具有无摩擦、响应速度快等特点,zui大运动行程110μm,分辨率可达0.1nm,定位精度实现纳米级,可通过自由组合成二维、三维压电纳米定位台。《查看更多》
P11是压电陶瓷驱动的压电纳米定位台,1-3维多种规格可选,压电纳米定位台采用无摩擦无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元分析优化柔性铰链结构,具有超高的导向精度,定位精度可达纳米级,分辨率达亚纳米,毫秒级定位稳定时间,产品体积小巧,结构紧凑,易于集成到其他设备中。《查看更多》
IT.XY/IT.XYZ电容式压电纳米定位台采用一体式结构设计,多轴运动无耦合。多种位移行程可供选择。可应用于高精密光学测量、生物科技、原子力显微镜等应用领域。《查看更多》
IT.X/Z电容式压电纳米定位台采用电容传感器作为闭环反馈,分辨率可达皮米级。行程最大可达1mm,满行程定位精度最高可达2.5nm,多种规格型号可选,满足不同应用的需求。《查看更多》
XP-63系列压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。《查看更多》
P63系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易于集成。《查看更多》
P66系列压电纳米定位台是一维X轴压电平移台,它以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台,实现XYZ轴34μm的位移行程,可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。《查看更多》
XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。《查看更多》
压电马达内部仍为压电陶瓷驱动,它分为直线运动型及角度运动型,利用粘滑原理,通过压电陶瓷的快速振动,达到微纳米级的步进,总直线运动行程范围可达几百毫米,角度行程可达360度。 应变传感器主要用于测量一个结构表面的形变,具有非常高的测量敏感度,可间接进行力的测量,力的过程监控等。《查看更多》
P13系列压电纳米定位台为二维XY、三维XYZ压电平台,P13.XYZ为三维压电纳米定位台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,zui大位移为40μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。《查看更多》
XP-611.XZ压电纳米定位台为二维X轴及Z轴运动压电平移台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,可实现X轴及Z轴100μm的位移行程,柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高,是二维精密定位与扫描的理想选择。《查看更多》
N60一维X轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可以实现X轴zui大34μm的位移,优异的机构放大设计原理,X轴运动直线性好,开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。台面具有两个负载安装螺纹孔,便于安装负载。《查看更多》
XP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动,具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制,高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。《查看更多》
P63系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易于集成。《查看更多》
采二维XZ向压电纳米定位台用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有极高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。《查看更多》
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