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三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易于集成。《查看更多》
P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台,实现XYZ轴34μm的位移行程,可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。《查看更多》
P13系列压电纳米定位台为二维XY、三维XYZ压电平台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,最大位移为40μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。《查看更多》
XP-611系列压电纳米定位台为一维X轴或Z轴压电平移台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,可实现X轴或Z轴100μm的位移行程,柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高,是一维精密定位与扫描的理想选择。《查看更多》
N60系列压电纳米定位台为一维X轴压电平移台,内置高性能压电陶瓷可以实现X轴最大34μm的位移,优异的机构放大设计原理,X轴运动直线性好,开环闭环可选,产品体积小巧、结构紧凑、集成度高,是小体积高精度一维精密定位的理想选择。《查看更多》
XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。《查看更多》
XP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动,具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制,高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。《查看更多》
P63系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台,平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有极佳的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电平台体积小、结构紧凑易于集成。《查看更多》
一维压电纳米定位台是以压电陶瓷做为基础元件驱动的压电平移台,X轴,XY轴,XYZ轴多维压电平移台,驱动形式包含压电陶瓷直驱式以及机机构放大式两种驱动形式。相同驱动电压下,机构放大平台的位移是直驱平台位移的几倍至几十倍《查看更多》
压电平移台位移行程可达100μm,该型号产品体积小巧,结构紧凑,压电驱动、无摩擦、柔性导向系统,实现纳米级分辨率和毫秒的响应时间。《查看更多》
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