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产品名称:直驱机构式压电扫描台

产品型号:N63XY

产品报价:

产品特点:N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台,一体式结构设计原理,压电陶瓷直驱机构,可实现8μm的扫描范围,台体高度仅为17mm,闭环版本具有超高的定位精度,适用于显微扫描等应用。

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N63XY直驱机构式压电扫描台的详细资料:

N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台,一体式结构设计原理,压电陶瓷直驱机构,可实现8μm的扫描范围,台体高度仅为17mm,闭环版本具有超高的定位精度,适用于显微扫描等应用。

 

特性

       • 二维XY向运动,zui大行程8μm/轴                     • zui大承载3kg                     

      • 台体中心方形通孔,尺寸为Ø62mm                   • 内置高性能压电陶瓷                 

      • 开环、闭环可选

 

外观形状

产品运动示意图

台体采用直驱式结构设计,出力大

 

一体式超薄结构、高分辨率、闭环精度高

频率负载曲线

压电陶瓷嵌套式一体结构

N63压电扫描台为XY二维平移扫描台,平台采用柔性铰链导向压电陶瓷直驱的机构设计,具有无间隙、无后坐力、无摩擦等特点,使其具有超高的分辨率达0.2nm。

可选择内置高性能传感器实现8×8μm范围内超高的定位精度。

N63压电扫描台由于具有超薄的结构,台体仅为17mm,中心通孔非常便于与显微镜配套安装。

N63压电扫描台采用压电陶瓷直驱机构设计原理,嵌套式机构使其具有非常良好的动态性能。

 

平稳和精确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳精确。

     

应用

       • 图像处理与稳定  • 精密定位  •光学捕获  • 扫描显微  • 干涉/计量  • 半导体测试  • 表面检测  • 光学计量  • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜  • 掩模/晶圆定位  • 生物技术  • 表面结构分析

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