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产品名称:P13系列压电纳米定位台

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产品报价:

产品特点:P13系列压电纳米定位台为二维XY、三维XYZ压电平台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,zui大位移为 40μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。

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P13系列压电纳米定位台的详细资料:

   P13系列压电纳米定位台为二维XY、三维XYZ压电平台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,zui大位移为 40μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。

P13系列压电纳米定位台特点:

 2~3维运动

 位移行程40μm

 体积小巧

 亚毫秒响应时间

二、三维平移台

P13压电纳米定位台,包括二维XY轴、三维XYZ 轴两个规格型号。 

超小体积、无机械间隙、高分辨率 

固态铰链平行四边形设计原理,平行运动无机械间隙,该结构原理使其具有非常高的分辨率,运动直线性好。P13系列压电纳米定位台可以很容易的安装到其他的定位系统并且可以配置传感测量装置(应变计传 感器)消除压电陶瓷的迟滞与蠕变特性。P13压电平移台适用于动态使用,是扫描应用的 理想选择。 

闭环阶跃稳定时间图

P13.XY闭环版本40μm行程的稳定时间约为30ms。

典型应用


• 2D/3D扫描系统    • 光路调整
• 半导体技术    • 微操作
• 原子力显微镜    • 纳米定位

技术参数

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P13.XY40S

P13.XY40K

P13.XYZ40S

P13.XYZ40K

 

单位

运动自由度

X、Y

X、Y、Z

 

标称行程范围(0~120V)

30/轴

30/轴

μm±20%

zui大行程范围(-20~150V)

40/轴

40/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

 

闭/开环分辨率

1.5/0.7

1.5/0.7

nm

闭环线性度

0.2/-

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<5

<5

µrad

推/拉力

5/2

8/3

N

运动方向刚度

X0.15/Y0.2

X0.1/Y0.15/Z0.2

N/μm±20%

空载谐振频率

X0.45/Y0.55

X0.35/Y0.4/Z0.58

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

30/2

30/3

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

50

35

 

Hz±20%

100%行程

5

3

zui大承载

0.05

0.05

kg

静电容量

0.8/轴

0.8/轴

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

 

重量

110

220

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

 

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