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产品名称:芯明天直驱机构式压电扫描台

产品型号:P77Z

产品报价:

产品特点:P77压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心为106mm大通光孔,压电陶瓷直驱机构,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z 轴20μm的位移行程,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,闭环版本定位精度可达纳米级,是光学移相器的选择。

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P77Z芯明天直驱机构式压电扫描台的详细资料:

   P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心为106mm大通光孔,压电陶瓷直驱机构,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z 轴20μm的位移行程,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,闭环版本定位精度可达纳米级,是光学移相器的选择。

P77压电扫描台典型应用

• 显微成像

• 表面检测

• 闭环重复定位精度高

• 干涉/计量

• 精密定位

• 移相器 •

 光学捕获

应用案例

大孔径、大承载、高谐振频率

P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计, 利用有限元分析优化, 刚度可达8 N/ μm,空载谐振频率 300Hz。

闭环版本内置高精度传感器,对位移实时监测反馈,可 实现纳米级的重复定位精度及线性度。

压电扫描台中心106mm的大通光孔,该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。

芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特 点广泛应用于现代干涉仪中,大大提高了干涉仪的测量精度。

P77压电扫描台特性:

Z轴运动

• 最大行程20μm

• 最大承载5kg

• 通孔直径:Ø106mm

技术参数:

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P77.Z20S P77.Z20K

 

单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围(0~120V)

14

μm±20%

最大行程范围(-20~150V)

20

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø106

mm

闭/开环分辨率

1/0.5

nm

闭环线性度

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

µrad

推/拉力

120/50

N

运动方向刚度

8

N/μm±20%

空载谐振频率

300

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

5/2.5

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

60

 

Hz±20%

100%行程

10

最大承载

5

kg

静电容量

5.4

μF±20%

材质

 

重量

1600

g±5%

 

 

 

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