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产品名称:芯明天直驱机构式压电纳米定位台

产品型号:XP-63X

产品报价:

产品特点:XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。

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XP-63X芯明天直驱机构式压电纳米定位台的详细资料:

特性

1~3维自由组合

最大行程68μm 

最大承载5kg 

重复定位精度可达0.05%F.S.

亚毫秒响应时间

 

1-3维平移台

XP-63X系列压电纳米定位台可以通过叠加的方式组成XY,XZ,XYZ多种运动结构。多种规格型号可选。
柔性铰链采用精密线切割技术。

 

体积小、刚度大、响应速度快、闭环精度高

XP-63X系列压电纳米定位台特殊的结构设计,具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率,响应时间可以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载,响应时间仅为5ms。
 

XP-63X系列产品体积小巧,XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm,易于与其他平台设备集成。闭环版本配置应变传感器,可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器,控制器通过PID算法对检测到的位置信号进行修正,从而实现纳米级的精密定位。

 

应用实例

采用XP-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制,从而完成1mN的精确力控制实验。

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