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产品名称:P32系列Z向/俯仰/偏转镜

产品型号:

产品报价:

产品特点:P32系列Z向/俯仰/偏转镜体积小巧、结构紧凑,可实现最大6mrad偏转,Z轴40μm的直线运动。提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度,响应时间可达毫秒量级。

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P32系列Z向/俯仰/偏转镜的详细资料:

   P32系列Z向/俯仰/偏转镜体积小巧、结构紧凑,可实现最大6mrad偏转,Z轴40μm的直线运动。提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度,响应时间可达毫秒量级。

工作原理

   P32偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的,由三支压 电陶瓷驱动,以120°角平分放置,采用坐标变换,运动可以分不 同机构之间控制。这种结构设计除了可实现平台的倾斜,也可实 现平台Z向的直线移动,可以用于校正光学路径长度。其中, A、B、C表示测量的3点处位移量,两轴摆角及Z向位移的简便计 算公式分别如下,

 

 

典型应用

• 图像处理与稳定 • 光学捕获

• 激光扫描与光束偏转 • 激光调谐

• 光过滤/光开关 • 光学/光束稳定

 

负载频率曲线 推荐控制器

E01

E00

E70

页码 157

页码 157

页码 167

 

 

 

 

 

3路输出(1路恒压)

3路输出(1路恒压)

3路输出(1路恒压)

模拟、上位机通信、旋钮

模拟、上位机通信、旋钮

模拟与数字控制

开环闭环

开环闭环

开环闭环

平均功率7W

平均功率35W/通道

平均功率5W/通道

高分辨率、高稳定性及动态性

    P32压电偏转镜体积紧凑,内部装配带有预紧的高可靠性压电 促动器,集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电 促动器是叠堆共烧型压电陶瓷,比传统的压电促动器提供更好的性 能及可靠性。

   P32压电偏转镜采用基于平行运动学的压电陶瓷直驱式三脚架 结构,数十亿次的运动周期操作而没有故障或性能下降,非常适合 工业应用。

   三脚架结构设计在较大的温度范围内提供优化的角度稳定 性。这种设计具有体积更小巧、两轴具有相同的大小及动态性能、 更快的响应速度及更好的线性度等优势,也防止了偏振旋转。

特性:

•  θx, θy偏转,Z轴升降 • 最大偏转范围6mrad • 毫秒级响应时间

• 闭环定位精度高

• 温度稳定性高

P32系列Z向/俯仰/偏转镜技术参数

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P32.ZT4S P32.ZT4K

 

单位

运动自由度

θx, θy, Z

 

θx, θy标称偏转角度(0~120V)

5

mrad±20%

Z向标称行程(0~120V)

30

μm±20%

θx, θy最大偏转角度(-20~150V)

6

mrad±20%

Z向最大行程(-20~150V)

40

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环θx, θy偏转分辨率

0.1/0.05

μrad

闭/开环Z向直线分辨率

1/0.5

nm

闭环线性度

0.05/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.02/-

%F.S.

空载谐振频率(θx, θy)

2

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

5/2

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

500

 

Hz±20%

100%行程

40

静电容量

3.6/轴

μF±20%

材质

 

重量

350

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

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