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压电倾斜镜采用压电陶瓷直推驱动,零摩擦的柔性铰链为导向系统使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。镜子只需要简单的固定到偏转台上,可提供2毫弧度的偏转行程。在整个偏转行程中可达到亚微弧度的分辨率。低的移动质量和优异的控制系统可以提供极佳的响应时间和和速度。《查看更多》
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