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P32系列Z向/俯仰/偏转镜体积小巧、结构紧凑,可实现最大6mrad偏转,Z轴40μm的直线运动。提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度,响应时间可达毫秒量级。《查看更多》
P31/P34系列压电偏转镜是专为较大直径镜片而设计,可加载直径达80mm的镜片,它的差分驱动在较大温度范围内表现出非常出色的角度定位稳定性。P34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点(并联运动)的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动,多种镜片安装面可选,以获得对不同镜片材料的热适应。开环、闭环版本可供选择,所有版本都具有亚微弧度分辨率,且倾斜角度最大可达6mrad(等于光束偏转12mr《查看更多》
P32系列压电偏转镜Z向/俯仰/偏转镜提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度,响应时间可达毫秒量级。P32压电偏转镜体积小巧、结构紧凑,可实现最大6mrad偏转,Z轴40μm的直线运动。《查看更多》
P33系列压电偏转镜是具有快速响应且体积紧凑等特点的偏转平台,提供顶端面的高精度角度运动,与其他执行器相比,柔性铰链导向的压电偏转平台可提供更高的加速度,使阶跃响应时间在亚毫秒范围。闭环与开环版本具有6个不同的偏转范围,最大可达27mrad的光束偏转。《查看更多》
P34系列压电偏转镜是专为较大直径镜片而设计,可加载直径达80mm的镜片,它的差分驱动在较大温度范围内表现出非常出色的角度定位稳定性。P34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点(并联运动)的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动,多种镜片安装面可选,以获得对不同镜片材料的热适应。开环、闭环版本可供选择,所有版本都具有亚微弧度分辨率,且倾斜角度最大可达6mrad(等于光束偏转12mrad)。《查看更多》
二维θx,θy向压电偏转镜25mrad是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动,补偿量小,确保偏转镜具有极佳的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
压电倾斜镜采用压电陶瓷直推驱动,零摩擦的柔性铰链为导向系统使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。镜子只需要简单的固定到偏转台上,可提供2毫弧度的偏转行程。在整个偏转行程中可达到亚微弧度的分辨率。低的移动质量和优异的控制系统可以提供极佳的响应时间和和速度。《查看更多》
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